【導讀】10月12日,2026集成電路產業發展高峰論壇在上海隆重舉行,論壇同期揭曉了備受矚目的工博會·國芯展“創新成果獎”。概倫電子自主研發的FS800器件參數分析儀,憑借突破性的底層技術創新與卓越的產業賦能價值,從眾多頂尖參評項目中脫穎而出,成功斬獲CIIF國芯展“創新成果獎”。

隨著新材料、新工藝、新結構的不斷發展,新型半導體器件的研發正面臨著物理尺度更小、功率密度更高、失效機制更復雜等嚴峻挑戰。精準獲取電學特性與動態響應數據,已成為驗證物理機制、優化工藝配方、評估可靠性的重要基礎。這不僅要求量測設備具備極致的精度與可靠性,更對其測試吞吐率、全場景覆蓋及復雜工況適配性提出了嚴苛挑戰。高端電性參數量測設備作為探究半導體底層物理特性的核心工具,其性能突破與效率躍升正成為支撐先進工藝演進與新型器件創新的關鍵技術基石。
作為國內首家EDA上市公司,關鍵核心技術具備國際市場競爭力的EDA領軍企業,概倫電子長期秉承DTCO工藝設計協同優化方法學體系,立足產業真實應用需求牽引技術迭代,打造“測試-建模-仿真-驗證-工藝設計套件”全鏈路產品能力,為先進工藝研發與芯片設計提供差異化、定制化的全流程解決方案。

數據是EDA技術迭代演進的核心支撐,是AI時代半導體創新的重要基礎,有力賦能數據驅動的EDA流程落地。作為獲取高質量底層數據的核心利器,FS800器件參數分析儀是概倫電子面向前沿研究與先進工藝表征打造的新一代半導體電學特性分析設備,高性能、高效率且靈活可擴展。該產品在單機內集成了電流電壓(IV)測試、電容電壓(CV)測試、快速波形發生與測試以及高速時域信號采集等能力,可為各類測試應用需求提供精準、全面的數據支撐。
靈活架構
適配多元應用高效測試需求
FS800采用概倫電子自主研發的模塊化混合架構與高速數據總線設計,可按需彈性配置高精度SMU、低漏電矩陣與高速波形發生器模塊,單機最多支持24個SMU或擴展至132通道低漏電矩陣等,在單臺臺式設備中即可實現單器件精細測試到WAT晶圓級自動化電性參數表征,大幅提升測試效率并加速應用驗證進程。
精準測量
兼顧穩態與瞬態表征
搭載自研高精度SMU模塊FS810,FS800具備寬量程與最高0.1fA的電流分辨率,測量精度達15fA,能在復雜工況下精準表征新型器件的微弱信號。同時,其瞬態采樣率高達1.5 MS/s,最小脈寬達130ns,任意波形發生采樣率達100 MS/s,各項指標國際領先水平,不僅能從容應對先進工藝的嚴苛參數提取,更能實時捕新型存儲器等前沿器件的高速電導演化,提供高置信度的數據支撐。
智能化數據管理與分析
提升測試效率與易用性
FS800搭載的LabExpress測試軟件提供直觀的圖形化界面與豐富的測試算法庫,用戶不僅無需編程即可高效完成各類測試任務,還可通過內置腳本編程平臺靈活定制復雜測試應用與批量任務,滿足個性化實驗需求;同時,LabExpress在業內率先支持AI驅動的晶圓級數據統計分析功能,可基于數據統計分析結果智能化部署自動測試、數據校驗和復測,大幅提升研發過程中的數據管理效率和分析深度與廣度,加速從材料探索、器件驗證、工藝開發、芯片設計的完整研發閉環。
結論
此次榮膺國芯展“創新成果獎”,不僅是業界對FS800產品實力的高度認可,更彰顯了高端量測技術在半導體產業創新中的基石價值。面向未來,概倫電子將持續深耕核心數據獲取技術和高端量測設備,深化測試、建模、仿真的協同創新,以更精準、更高效、更智能的測試底座,與生態伙伴一起拓寬技術新邊界,激發半導體應用新潛力,共同推動半導體產業邁向新的發展階段。




